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介绍了RSD(Reversely Switched Dynistor)的结构和基本工作原理，基于n 基区中等离子体双极漂移的方程式定量分析了RSD 的开通过程，得到了功率损耗在不同时间段的表达式，计算
针对半导体扩散炉温度控制问题，提出采用RBF 神经网络控制方法。RBF 神经网络采用3-8-3 结构。建模表明，此RBF 网络数学模型具有良好的控制品质。关键词：半导体扩散炉；RBF 神经网络