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真空蚀刻

  • 微纳米加工技术及其应用

    本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型上艺参数,充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程过程中的注意事项,全书强调实用,避免烦琐的数学分析,既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展及在各高科技锁域的应用,并列举了相关参考文献供进一步深入研究,因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生,还是对已经有一定工作经验的专业科技人员,都具有很好的参考价值。

    标签: 微纳米加工技术

    上传时间: 2022-07-10

    上传用户:d1997wayne

  • 新立新龙刻章机软件,雕刻机,印章机器1.0版本排版软件

    新立新龙刻章机,雕刻机,印章机器1.0版本排版软件,需要正版加密狗才能正常使用

    标签: 激光雕刻软件

    上传时间: 2022-07-29

    上传用户:slq1234567890

  • PIC单片机在低压永磁真空断路器监控中的应用.rar

    低压断路器是电力系统中低压配电网中的主要电器开关之一,它不仅可以接通和分断正常负载电流和过载电流,而且可以接通和分断短路电流。主要在频繁操作的低压配电线路或开关柜中作为电源开关使用,并对线路、电器设备等实行保护,当它们发生严重过流、过载、短路、断相、漏电等故障时,能自动切断线路,起保护作用,应用十分广泛。智能控制器是断路器上的保护装置,也是断路器的核心控制装置。 20世纪90年代,随着电力电子技术、微电子技术、计算机技术和通信技术的飞速发展,断路器的保护装置己由传统的电磁式过流脱扣器发展成采用集成电路的电子式脱扣器,直至目前出现了带高性能微处理器的智能控制器。新一代的智能控制器采用了模块化结构设计,集测量、监视、控制、通信、保护等功能于一体,在低压系统中得到了广泛的应用。 在本课题中,该智能控制器在硬件上以美国Microchip公司推出的公司生产的PIC148F448为核心处理器,主要进行数据的实时采集处理和断路器的故障保护,实时显示线路运行时电流或故障信息等。利用带有CAN接口的高性能的PIC18F448单片机设计了CAN总线接口,给出了CAN接口的硬件电路、软件流程。该电路具有硬件设计简单、可靠性高、实时性强等特点。实现了智能控制器与PC机的双向通信功能,通过总线系统达到遥调、遥控的目的,使得智能控制器的性能得到增强,符合配电系统的要求,达到了本课题研究要求。

    标签: PIC 单片机 低压

    上传时间: 2013-04-24

    上传用户:kjgkadjg

  • 高压开关柜中三维电场的计算与分析.rar

    随着我国电力系统不断发展,高压开关柜以其结构简单、维护工作量小、适合于频繁操作等特点,受到广大用户欢迎,并成为高压开关向无油化发展的一大主流。近年来,随着电力系统不断向大容量、高电压、小型化发展,40.5kV高压开关柜在电力系统中也得到普遍的采用。绝缘问题是电力设备稳定、可靠运行的重要影响因素之一,并且绝缘也是高压电器设备中的薄弱环节,高压开关柜故障中很大一部分就是由于绝缘破坏而造成的。因此如何能够合理的配置母线、真空断路器及其它电器元件,得到较佳的绝缘配合和设计,达到具有高度可靠的绝缘性能,保证高压开关柜在配电系统中安全运行,且有较小的安装空间,是开关柜设计中一个值得研究的重要问题。 在计算机模拟电场分布的求解中,有限元方法以其剖分简便易行、可适用于多种介质和较高的计算效率,已成为电磁场问题求解的主要方法之一。ANSYS是有限元计算方法的代表软件,通过对模型特征参数化,使用用户参数化设计语言(APDL),可以进一步提高分析效率,使得整个分析过程自动、通用。 本文从实际产品设计入手,根据开关柜的结构特点,建立了三维电场数值计算模型,在满足技术条件要求的基础上,通过采用电场的数值仿真分析及相应实验研究,描述了40.5kv高压开关柜配电系统接地开关相间及接地柜中全场域电场分布情况,确定了接地开关在不同情况下的电场分布、变化情况,通过理论的计算和分析,对产品的绝缘进行了校核与验证,进而得到合理的布置结构和达到最佳的绝缘配合,为实际产品的开发和设计提供了理论依据。

    标签: 高压开关柜 电场

    上传时间: 2013-07-27

    上传用户:sy_jiadeyi

  • PLC的变电站电压无功综合控制系统的研究.rar

    随着社会生产的发展和人民生活水平的提高,对供电质量的要求也越来越高,电压是标志电能质量的一个基本技术指标,它与无功功率密切相关。本文阐述了电压无功综合控制对于电力系统运行及工农业生产的重大意义;综述了国内外在这一领域中的研究所取得的成果、面临的问题和发展的前景。针对目前我国应用最为广泛、性能价格比最佳的并联电容与有载调压变压器综合控制装置的研制开发中所涉及的问题进行了较全面的分析与研究,提出了一种符合当前变电站综合自动化发展需要的可靠性高、组态灵活、功能齐全的变电站电压无功综合控制方案。该方案主控单元选用抗干扰能力强、指令丰富、扩展灵活、通讯联网能力强的西门子S7-226PLC作为控制核心;参数检测单元选用可靠性高、具有通讯功能的智能型综合电量变送器;控制主机通过与参数检测单元通讯获得所需参数,同时还可与上位机或其他具有串口的设备通讯。采用的电压无功控制策略,从系统的实际需要出发,充分考虑了影响电压无功控制效果的主要因素,控制决策以实时计算数据为参考,控制精度高,并有效避免了无效调节对设备及系统造成的危害;控制软件根据已经确定的控制算法做出控制决策并能够完成系统运行方式的自动识别、电容器的循环投切,电容器及分接头的保护及通讯等功能。文中还阐述了电容器接线形式选择、串联电抗及高压真空开关的选择依据以及变压器调档控制原理。 理论分析和仿真计算均证明了本文中所提出的控制策略的精确性和严密性;试验证明了该设计方案先进、灵活、可靠、功能齐全,符合电力系统自动化对控制装置的要求。

    标签: PLC 变电站 电压无功

    上传时间: 2013-06-01

    上传用户:hxy200501

  • 并联电容器组相控投切技术研究.rar

    选相控制开关又称同步开关或相控开关,其实质就是控制开关在电压或电流的期望相位完成合闸或分闸,以主动消除开关过程所产生的涌流和过电压等电磁暂态效应,提高开关的开断能力。本论文以电力系统的无功补偿为背景,分析了随机投切电容器组的暂态过程所带来的各种危害,从而提出选相投切技术;本文以真空开关选相投切电容器组为研究对象,着重介绍了电容器组选相投切技术的相关理论,给出了电容器组选相投切的控制策略,为同步开关选相控制器的设计提供了理论依据。 双稳态永磁机构结构简单、动作稳定可靠,其出力特性能与真空开关良好匹配,在中压领域得到越来越广泛的应用。相控真空开关采用三相独立操动的双稳态永磁机构,其操作电源为由大功率电力电子器件控制的储能大容量电容器,通过多次的测试结果表明双稳态永磁机能很好地满足相控开关的要求,是相控开关的理想选择。 IPM(智能功率模块)作为一种新型的大功率开关器件,以其设计简单(内置驱动和保护电路),低功耗,开关速度快等特点成为越来越多设计者的首选,得到了越来越广泛的应用。本文讨论了IPM在选相投切电容器组中的相关逻辑控制策略,光耦隔离驱动,IPM过流、过热相关保护等内容,设计了以DSP(TMS320LF2407A)为核心的永磁机构同步控制系统,实时采集电网信号,经过FIR数字滤波提取零点,通过IPM控制大容量电容器放电来驱动永磁机构,实现断路器在期望相位上分断或关合以减小暂态冲击,并保证储能电容器的一次储能完成一次完整的O-C-O操作。 通过相关试验测试,表明本系统已经初步达到了设计所要达到的预期效果,为以后的研究以及同步控制控制系统的完善和优化提供了有益的经验和参考。

    标签: 并联电容器组 相控 技术研究

    上传时间: 2013-04-24

    上传用户:diets

  • 基于单线圈永磁机构的相控开关控制器的设计.rar

    选相控制开关又称同步开关或相控开关,其实质就是控制开关在电压或电流的期望相位完成合闸或分闸,以主动消除开关过程所产生的涌流和过电压等电磁暂态效应,提高开关的开断能力。本论文首先分析了提高断路器可靠性的途径,介绍了相控开关的研究意义及其优点;相控开关的基本原理和分合闸操作过程,为同步开关选相控制器的设计提供了理论依据。 永磁操动机构是近几年正在发展的一种新型操动机构,它利用永久磁铁产生的磁力将真空断路器保持在分合闸位置,而无需任何传统机械脱扣锁扣装置。它机构零部件少,结构简单,使断路器动作的可靠性大大提高。二次控制回路采用电子控制模块,动作迅速并可以实现精确时间控制,采用开关电源输入范围宽,输入输出用光耦隔离,功耗低,极大地提高了可靠性,使永磁机构真空断路器成为真正意义的免维护智能化断路器。单线圈永磁机构结构简单、体积小,在中压领域得到越来越广泛的应用。相控真空开关采用三相独立操动的单线圈永磁机构,其操作电源为由大功率电力电子器件控制的储能大容量电容器,通过多次的测试结果表明单线圈永磁机构能很好地满足相控开关的要求,是相控开关的理想选择。 本文详细介绍了以Mega16为控制核心的单线圈永磁机构智能控制器,这种控制系统集保护、控制、开关量监测等功能于一体。可实现对电容电压实时显示,具有过电流速断保护、过电压和欠电压保护、闭锁以及报警等功能。 通过相关试验测试,表明本系统已经初步达到了设计所要达到的预期效果,为以后的研究以及同步控制系统的完善和优化提供了有益的经验和参考。

    标签: 单线圈 永磁机构 开关控制器

    上传时间: 2013-07-02

    上传用户:一诺88

  • 基于USB和FPGA技术的激光打标控制卡的研究与开发.rar

    激光打标是指利用高能量密度的激光束在物件表面作永久性标刻。激光打标以其“打标速度快、性能稳定、打标质量好”等优势,获得了日益广泛的应用。传统的激光打标系统一般是基于ISA总线或PCI总线的,运动控制卡必须插在计算机的PCI插槽内,且不支持热捅拔,影响了控制卡的稳定性;以单片机为主控制器的激光打标控制卡虽然成本低、运行可靠,但由于其运算速度慢、存储容量有限,限制了它的应用范围。 运动控制卡是激光打标系统的核心组成部分。本文设计了一种新型的基于USB总线,以FPGA为主控单元的振镜扫描式激光打标控制卡,它利用了USB总线高速、稳定、易用和FPGA资源丰富、处理能力强、易扩展等优点,将PC机强大的信息处理能力与运动控制卡的运动控制能力相结合,具有信息处理能力强、开放程度高、使用方便的特点。 本文首先介绍了激光打标的原理,激光打标技术的发展现状以及激光打标系统的组成结构。在对USB总线技术作了简要介绍后,详细讨论了激光打标控制卡的硬件电路设计,包括USB接口电路,FPGA主控单元电路,D/A单元电路,存储器电路,I/O接口电路等。接着对USB接口单元的固件程序和FPGA中USB接口功能模块、D/A写控制功能模块和SRAM读写控制功能模块的程序做了详细设计,通过软硬件调试,控制卡实现了USB通信,输出两路模拟信号,SRAM数据读写,数字量输入输出等功能。

    标签: FPGA USB 激光打标

    上传时间: 2013-04-24

    上传用户:prczsf

  • 基于ARM的数字仪表研究

    随着微处理器的发展,现代数字仪表发展迅速,功能不断增强。目前,数字仪表正朝着集成化、智能化、高精度、微功耗、高可靠性发展。人们对数字仪表的设计和性能指标也提出了更高的要求,ARM相对于单片机具有更强的处理能力和更好的处理效果,为高精度、智能化仪表的设计提供了一种新的途径。 论文首先介绍了国内外数字仪表的发展情况,并对常见的数字仪表进行了分类,分析了影响数字仪表性能的主要因素。综合数字仪表的性能特点并考虑实现成本,论文提出了一种基于ARM的五位半分辨率数字仪表设计方案,并详细介绍了仪表的总体设计思路、硬件电路设计、软件设计及数据处理方法。该设计采用LPC2148芯片为处理核心,使用VFD(真空荧光显示器)作为仪表人机界面,界面友好且无视角误差;考虑到在某些现场条件恶劣的情况下也能对数字仪表读数进行观测,采用LabVIEW7.1设计了上位机显示界面;构建了一个基于LPC2148的开发平台,基于平台设计了一款具有五位半分辨率的数字仪表,实现了电压、电流、电阻等测量功能,同时设计了温度读取、实时时钟计时、SD卡数据存储等功能,为仪表的智能化设计奠定了基础。 通过对该数字仪表运行情况进行记录,并对记录的大量数据进行分析,结果表明:所设计的数字仪表能稳定显示,其精度和显示分辨率均达到五位半精度的要求。

    标签: ARM 数字仪表

    上传时间: 2013-07-20

    上传用户:ligong

  • 基于ARM的嵌入式网络控制系统在馈电开关中的应用与研究

    矿用隔爆馈电开关是煤矿井下配电系统的关键设备,作为配电开关,用于含有瓦斯或煤尘等爆炸危险环境的矿井中,控制和保护低压供电网络。其性能好坏直接影响着煤矿井下的生产安全和生产效率,而目前国内馈电开关普遍存在集成度低、可靠性差、智能监控水平低等缺点。 本课题将嵌入式网络控制系统应用到馈电开关中,通过对矿山供电系统工作原理、真空馈电开关工作原理以及基于EasyARM2200(Philips LPC2210为处理器、ARM7为内核)嵌入式网络控制系统的研究,实现了总体网络拓扑结构的设计和智能馈电开关控制系统硬件电路的设计;通过对嵌入式实时操作系统的移植、嵌入式TCP/IP协议栈的实现和移植以及基于C/S模式下的套接字编程等的研究和分析,完成了监控主机与嵌入式系统的通信软件和保护控制算法的应用程序的编写,从而实现了矿井地面监控主机与井下嵌入式系统馈电开关的快速通信,解决了地面监控主机对井下馈电回路及电气开关的远程智能监控的难题,最终设计出一套集实时保护控制和远程监控功能于一身的智能型馈电开关网络控制系统。 实验结果表明:在嵌入式系统端的通信软件和监控主机端的通信软件的驱动下,实现了嵌入式系统与监控主机的快速远程通信,通信速度快、可靠性高、可视化效果好,完全满足了监控系统的快速通信要求。 本课题的研究成果为工业控制领域提供了一个开放式、全分布、可互操作性的通信控制平台,为提高煤矿井下设备的远程智能监控水平和安全操控系数提供了新的解决方法,为地面监控系统实现更大规模、更深层次地对井下电气设备的集中控制、分散管理奠定了理论和实践基础。

    标签: ARM 嵌入式网络 中的应用 控制系统

    上传时间: 2013-06-25

    上传用户:wl9454