氮气
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查看全部 500 份 →氮氧传感器陶瓷芯片检测系统的研制
本文设计并研制了一套氮氧传感器陶瓷芯片检测系统，用来检测陶瓷芯片的加热性能和电极材料浓差电势的灵敏度。该系统可匹配不同电阻值的陶瓷芯片，可以实现可调的加热温度，并迅速、可靠的测量电极材料浓差电势。系统分为三大部分：机械结构部分、电路硬件部分...
2023-09-02
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表面热处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响
摘 要：用RF磁控溅射的方法在最佳沉积条件下在Si（100）基底上沉积了纳米氮化硼薄膜，然后对薄膜在真空度低于5×10-4Pa、温度分别为800℃和1000℃条件下进行了表面热处理，分别用红外光
2023-11-25
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氢、氧等离子体处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响
用RF磁控溅射的方法在Si（100）基底上沉积了纳米氮化硼薄膜，然后分别用氢、氧等离子体对薄膜表面进行了处理，用红外光谱、原子力显微镜、光电子能谱以及场发射试验对薄膜进行了研究，结果表明氢等离子
2024-02-29
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