表面热处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响
摘 要:用RF磁控溅射的方法在最佳沉积条件下在Si(100)基底上沉积了纳米氮化硼薄膜,然后对薄膜在真空度低于5×10-4Pa、温度分别为800℃和1000℃条件下进行了表面热处理,分别用红外光...
摘 要:用RF磁控溅射的方法在最佳沉积条件下在Si(100)基底上沉积了纳米氮化硼薄膜,然后对薄膜在真空度低于5×10-4Pa、温度分别为800℃和1000℃条件下进行了表面热处理,分别用红外光...
研究了不同反应温度对苯热合成立方氮化硼的影响,研究结果表明:以Li3N和BBr3为原料制备立方氮化硼时,温度对产物中立方相含量有很大影响,在200~400℃,产物主要为六方相氮化硼,随温度升高,...
用RF磁控溅射的方法在Si(100)基底上沉积了纳米氮化硼薄膜,然后分别用氢、氧等离子体对薄膜表面进行了处理,用红外光谱、原子力显微镜、光电子能谱以及场发射试验对薄膜进行了研究,结果表明氢等离子...
表面粗糙度是机械加工工艺中主要的技术参数, 对零件质量和产品性能有着极为重要的影响。 以加工表面粗糙度与切削用量三要素的关系为对象, 采用正交试验方法, 利用立方氮化硼刀具对冷作模具钢 Cr12MoV 进行硬态干式车削试验,测量得到选定参数条件下的加工表面粗糙度值,并应用人工智能神经网络方 法建立了...