高灵敏度微机械薄膜的设计、模拟与优化
许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜。使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度。文中提出的纹膜结构, 可在不改变工艺条件的前提下,...
许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜。使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度。文中提出的纹膜结构, 可在不改变工艺条件的前提下,...
T型结构焊接变形与火焰矫正综合性实验一、实验原理焊接残余变形是焊接后残存在于结构中的变形。它包括纵向收缩变形、横向收缩变形、弯曲变形、角变形...
T 型结构焊接弯曲与火焰矫正实验一、实验原理焊接残余变形是焊接后残存在于结构中的变形。它包括纵向收缩变形、横向收缩变形、弯曲变形、角变形等,其中纵向、横向收缩变形是导致其他变形...
用力传感器和位移传感器实时自动测量试验过程中试验力和压头压入试样的深度并显示,以控制试验进程,保证试验的有效性;卸除试验力后,由位移传感器在线自动测量残余压痕深度,自动计算、输出维氏硬度值,保证试验结...
分析了-玻璃静电键合机制,讨论看键合强度与玻璃表面、温度、键合电压的关系;通过缓慢降温等措施减小了键合后的残余应力,针对多晶硅压力传感器设计研制了一套装置,给出了其工作机制和键合电流-时间(I=t)关...