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将两个传感器的信息融合,通过多源信息的综合、分析和推理,得出了了叶片振动频率信息,提高了传感器系统的有效性,克服单个传感器只能测得叶片振幅值信息的局限性。 关键字 &n

2024-03-28 10 机械对中

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应

2024-05-08 6 机械对中