机械优化

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许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜。使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度。文中提出的纹膜结构, 可在不改变工艺条件的前提下,

2024-01-25 6 机械优化

自从Clark 和Lyons 在1962 年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相 继问世. 这类传感器的基本原理是通过生化敏感层,被分析分子在敏感层上的物理或化学吸附被换能

2024-05-14 1 机械优化