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研究了在远场条件下,用PVDF 传感器测量梁结构的振动功率流1 用传统的加速度传感器测量振动功率流时,不可避免地产生有限差分误差,而PVDF 薄膜是一种新型压电高分子材料,根据其积分特性,在理...

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介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’...

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振动管式液体密度传感器是一种高精度的在线动态测量液体密度的传感器。它的敏感元件,即振动子是中空薄壁弹性管。当被测液体流经它时,振动管的共振频率发生变化,即振动管的共振频率由液体的密度所决定,液体密度不...

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