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机电设备状态监测与故障诊断技术 325页 11.1M.pdf
资料->【F】机械结构->【F0】机械综合->【5】机电一体->机电设备状态监测与故障诊断技术 325页 11.1M.pdf
2023-04-24
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高温压力传感器固态隔离封装技术的研究
论述了多晶硅高温压力传感器小型化固态隔离封装技术、静电键合技术、不锈钢膜片的选择及波纹设计技术、激光焊接技术、硅油充灌和硅油隔离技术等。以不锈钢膜片和高温硅油为隔离材料,使传感器的封装直径缩小到15
2024-04-29
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