扫描电镜

扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以...

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·摘　要:介绍了在红外系统中，采用步进电机作为扫描机构驱动元件，以Ｄ／Ａ数模转换器作细分方式的定频脉宽调制驱动方式，实现微机控制下的扫描机的构步距均匀稳定，满足红外系统分辨率的要求。

2024-09-24 6 扫描电镜