扫描电镜
扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以...
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摆镜扫描的重复控制系统
·摘要:为解决摆镜扫描速度振荡的问题，采用水磁同步电机作为扫描驱动电机，建立了控制系统的传递函数模型.同时根据摆镜扫描运动具有周期性的特点，提出了一种改进结构的重复控制器对扫描电机的转速进行控制.该控制器引入两个放大环节对系统增益进行调节，...
2024-07-30
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