惯性仪器
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石英微机械惯性传感器的加工技术
本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词：石英；微机械陀螺；各向
2023-11-12
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惯性式测振传感器的设计思路和方法
惯性式测振传感器种类很多，用途很广，它们的共同特点是内部有一个“m-k-c”系统。本文从分析“m-k-c“系统运动方程和传输函数入手，总结出四种设计制作惯性式测振传感器的思路和方法。这些方法也概括了各
2024-01-20
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