微纳加工

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《半导体微纳电子学》系统地介绍了半导体微纳电子学领域的最新进展、基本原理和实验。在集成电路发展过程中,原有的经典理论将不再适用,需要考虑量子修正,甚至完全用量子理论。本书第一部分(第 1-3章)介绍小尺寸集成电路、共振隧穿器件和超晶格纵向输...

2022-08-30 6 微纳加工

本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词:石英;微机械陀螺;各向

2023-11-12 3 微纳加工

帮助电子工程学生和从业者快速掌握微波电路设计与分析方法,结合电磁场理论、麦克斯韦方程组及电路模型,深入解析微波系统核心原理。

2026-02-22 2 微纳加工