微特电机
微特电机,全称微型特种电机,简称微电机,是指直径小于160mm或额定功率或具有特殊性能、特殊用途的微特电机。微特电机常用于控制系统中,实现机电信号或能量的检测、解算、放大、执行或转换等功能,或用于传动机械负载,也可作为设备的交、直流电源。
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微机电系统(MEMS) 技术及其应用
微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.[关键词] 微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术
2024-02-27
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2024-07-23
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2026-03-22
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