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微机械技术,作为现代电子工程中的重要分支,以其微型化、高精度及多功能集成的特点,在生物医疗、航空航天、消费电子等领域展现出广泛的应用前景。本页面汇集了2881个精选资源,涵盖MEMS设计原理、制造工艺以及最新研究成果,是每位致力于探索微米乃至纳米尺度世界的工程师不可或缺的学习宝库。加入我们,共同推动微机械技术创新与发展!

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项目的研究内容是对硅微谐振式加速度计的数据采集电路开展研究工作。硅微谐振式加速度计敏感结构输出的是两路差分的频率信号,因此硅微谐振式加速度计数据采集电路完成的主要任务是测出两路频率信号的差值。测量要求是:实现10ms内对中心谐振频率为20kHz、标度因数为100Hz/g、量程为±50g、分辨率为1m...

📅 👤 csgcd001

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