微加工

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2024-12-03 5 微加工

研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之

2024-04-15 1 微加工