微传感器

微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。

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用伪谱算法对电容压力微传感器极板膜在均匀载荷条件下的弯曲行为作了数值模拟, 叙述了伪谱算法原理, 并将其用于微传感器的载荷与电容关系分析. 对于非接触式电容压力微传感器, 只有在小载荷(引起的最大垂向

2023-10-20 8 微传感器

介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’

2024-04-04 1 微传感器

基于MEMS 的微型手术器是一种可用于微创手术的新型医疗器械。这种手术器实际上是一种微型智能机器人,其中的传感器采用MEMS 技术制造,具有微型、机电一体化集成、智能等特点。介绍了国际上具有代表性的微

2024-01-20 5 微传感器

循序渐进讲解电感式传感器的工作原理，涵盖变磁阻式传感器的电气参数分析、自感式与互感式传感器（差动变压器）的设计与应用，适合深入理解传感器技术的核心内容。

2026-02-20 3 微传感器

在首次为新项目或设备选择微型压力传感器时，设计人员通常关注关键设计参数，例如压力范围、电流输出、介质兼容性和环境条件。但是，为了选择适合不同应用的微型压力传感器，除了上述参数外，还需要考虑其他因素，特别是经常被忽视的三个设计因素：压力传递介...

2022-09-07 5 微传感器

研制了一种用于高压电容性设备在线监测的穿心式高精度微电流传感器。它基于电子补偿原理, 通过对激磁电流的补偿, 使传感器近似工作在“零磁通”状态。测试表明:补偿收到了良好效果, 角差稳定在±115′以内

2024-01-04 6 微传感器