工艺分析

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《半导体制造工艺基础》介绍了从晶体生长到集成器件和电路的完整的半导体制造技术,其中包括制造流程中主要步骤的理论和实践经验。《半导体制造工艺基础》适合于物理、化学、电子工程、化学工程和材料科学等专业本科...

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介绍了一套自主开发的CAST 工艺自控系统。在4 个月的连续运行中,成功地实现了对一个处理城市污水的CAST 反应器的自动控制。该系统通过计算机中的控制软件实现对CAST 反应器的各种工艺设备...

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