冷源

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冷却和温度控制系统在半导体制造设施中得到广泛使用。无论大型还是小型的生产设备,都会安装有数百 甚至数千个冷却系统,并在其中连续运转。这些系统所采用的工艺通常设置为完全复制型,这意味着工艺 系统是由工艺设备的 OEM(原始设备制造商)开发并转...

2023-01-13 7 冷源

为了实现对自由活塞斯特林制冷机相关参数的测控,开发了一套基于HCS12单片机的测控系统,该测控系统采用MC9S12DG256单片机,选取了合适的传感器测量压力、温度、电压和电流等参数;采用PC机作为上位机,使用组态王软件设计了人机对话窗口;...

2023-09-20 5 冷源