光刻机

光刻机（lithography）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

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8头白光光束测试程序（10次内确定关机有效，按确定关机为一次测试，10次测试后系统关闭，唐胜板（电机驱动是DRV8841））.hex

2025-06-16 5 光刻机