📚 光刻机技术资料

📦 资源总数:3
💻 源代码:1
光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

🔥 光刻机热门资料

集成电路、半导体元器件等超精密器件已经被广泛应用在各行各业中,而光刻机作为研制和生产超精密器件的主流设备也变得尤为重要。双工件台系统是光刻机的关键子系统。光刻机双工件台系统的控制系统主要由上位机和下位机两部分组成。下位机指采用VME总线的工控机系统,包含运行若VxWorks系统的PowerPC处理器...

⬇️ 9 次下载

💻 光刻机源代码

查看更多 »
📂 光刻机资料分类