光刻机

光刻机（lithography）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

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根据HITRAN 数据库中甲烷分子近红外吸收谱线，选用波长1651nm 二极管激光器作为光源，研制了一种新型近红外光声光谱甲烷气体浓度检测系统。以单片机AT89C52 为核心处理器，融合了模/数转换电

2023-06-13 10 光刻机

单片机控制步进电机易出现失步、低频振动及易受外界电磁干扰而影响步进电机的正常工作,从步进电机本身的特性和控制驱动系统等方面分析了问题出现的原因,提出了电流矢量恒幅均匀旋转微步驱动的解决方案,并在舞台灯光控制中实现了步进电机的稳定运行.

2024-09-06 1 光刻机

本文提出一种基于亚象素图象处理方法的游标刻度计算机读取算法，该算法使用二次曲线拟合的图像亚像素边缘定位算法，在不影响精度的情况下大大降低了对图象采集装置的要求，可使使游标自动检定设备的成本大幅

2024-02-04 6 光刻机