📚 光刻工艺技术资料

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随着工艺技术到达深亚微米领域,互连线的耦合电容、电感对电路的影响越来越大。为 了有效地捕捉互连线的影响,需要进行精确地电路级模拟,但是从版图自动提取出来的互连 线通常是一个大的线性电路。利用spi...

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