光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔,以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。
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光刻机设计入门,精密仪器设计算法类,对激光器进行控制
本资料通过取字模软件取样,c程序控制上微机通过激光头打印所用KEIL程序
计算光刻权威参考书北京理工大学马旭英文版理论推导加编程指导
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