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分析了分布式微机电系统特点，对基于多主体控制的分布式微机电系统构成进行了研究，提出了采用多主体技术实现分布式MEMS控制的框架。对系统的模型、微机电主体的结构、行为策略进行了形式化表示，给出了控制算法...

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分布式 微机电系统
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