三轴MEMS

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太阳能是一种干净的可再生的新能源，越来越受到人们的青睐，在人们生活、工作中有广泛的作用， 其中之一就是将太阳能转换为电能，太阳能电池就是利用太阳能工作的。而太阳能热电站的工作原理则是利用汇聚的太阳光，把水烧至沸腾变为水蒸气，然后用来发电。

2025-03-10 2 三轴MEMS

　　对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究，该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势，是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，在低温250 ℃和适当压力辅...

2013-11-17 127 三轴MEMS

传统的金属氧化物气体传感器通常用于测量可燃性烃类气体和其他有毒气体。但是,他们存在两种缺陷,即(a)较高的工作温度(不小于300℃)及(b)较大的功耗(大于1 瓦)。正在研制的硅材料微型金属氧

2023-10-24 4 三轴MEMS