三轴MEMS

系统阐述MEMS惯性感测技术在实际应用中的实现方式，涵盖传感器原理、信号处理与工程实践，适用于嵌入式开发与智能硬件设计。

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MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法，在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试，结果发现，金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和A...

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简单介绍MEMS陀螺仪传感器以及其产业生产技术

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士兰微-SC7A20说明书、规格书。SC7A20 是一款高精度12bit 数字三轴加速度传感器芯片，内置功能更丰富，功耗更低，体积更小，测量更精确。

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