三轴MEMS
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三轴MEMS 热门资料
查看全部 500 份 →MEMS传感器的优化与动态试验
为了实现液压系统的动态测量，给液压系统的设计以及故障诊断提供理论依据，在已经设计的新型MEMS 流量传感器的基础上，对其结构尺寸进行了进一步的优化，并对MEMS 芯体和优化后的MEMS
2023-10-24
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RF-MEMS器件及其关键工艺技术
RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置，如可重构天线。因此，RF-MEMS近年来已成为全世界范围
2023-10-25
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汽车MEMS传感器的应用及发展
本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS（微机电系统）传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。关键词：汽车传感器、微机电系统、力
2024-01-18
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微机电系统(MEMS) 技术及其应用
微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.[关键词] 微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术
2024-02-27
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