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行业应用文档 MEMS真空熔焊封装工艺研究
MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法,在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试,结果发现,金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和Au、管帽表面镀Ni可有效的提高真空封装的气密性和可靠性,其气密性优于5×10-9 Pa·m3 ...
技术资料 modbus通讯协议
EN6000巡检仪modbus通讯协议说明
论文 现场大空间测量中精密三维坐标控制网的建立
全局测量与精度控制是超大空间内精密测量的基础,决定着整体测量的性能和适用性。为提高整体空间测量精度,同时解决定向及尺度问题,必须在全局空间内布设高精度测量控制网。三维坐标测量作为几何量测量的重要代表,是建立控制网最直接且约束最强的控制条件。为建立大空间精密三维坐标控制网,采用激光跟踪仪多站位对空间全 ...
源码 基于Labview的频率测量
基于labview的频率测量,使用8.5版本,扫频仪法。
源码 51-lcd-mpu6050
利用ST89C52获取MPU6050原始数据并通过LCD1602显示加速度计和陀螺仪的10位原始数据