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技术资料 提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 一)

表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度,但是其波纹结构本身又会
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技术资料 高速电喷镀喷嘴可控运动装置的研制

本文利用单片机数字信号处理性能和丝杠传动结构实现高速电喷镀喷嘴的精密控制，喷嘴位移控制精度达到0.05mm，电沉积反应可扩展到所有喷嘴运动可达区域，一次能高速电喷镀零件表面500mm2。就特定的工件和
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技术资料 氮气流量对金刚石膜生长的影响研究

采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜，研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌和膜品质的影响。实验发现，在较低的氮气流量下，金刚石膜的生长速率增加，在较高的氮气流
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技术资料 PSD传感器的原理及应用

介绍了由日本滨松公司研制开发的一种能提供感光表面连续移动光点位置信号的S3271-3274系列光电子位置敏感传感器PSD,指出了该系列PSD器件的性能指标、使用条件以及注意事项,最后分别给出了利用这些
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技术资料 地铁迷流对埋地管线腐蚀及抗蚀方法

根据地铁迷流对埋地管线的腐蚀机理, 采用模拟迷流腐蚀的实验装置, 测定了埋地管线在土壤腐蚀介质中的电化学当量和平均腐蚀速率, 探索了一种用低温气体多元共渗工艺对钢管进行表面处理后, 有效抗迷流
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技术资料 膜厚对四面体非晶碳膜机械性能的影响

采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在p（100）单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜，并利用表面轮廓仪测试薄膜的厚度和应力，利用纳米压入仪测试薄膜的硬度、杨氏模量和临界刮擦载荷。试
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技术资料 氢、氧等离子体处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响

用RF磁控溅射的方法在Si（100）基底上沉积了纳米氮化硼薄膜，然后分别用氢、氧等离子体对薄膜表面进行了处理，用红外光谱、原子力显微镜、光电子能谱以及场发射试验对薄膜进行了研究，结果表明氢等离子
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技术资料 再流焊接的技术要求

摘 要：随着表面贴装技术的发展，再流焊越来越受到人们的重视。本文介绍了再流焊接的一般技术要求，并给出了典型温度曲线以及温度曲线上主要控制点的工艺参数。同时还介绍了再流焊中常见的质量缺陷，并粗浅地
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技术资料 QCM和SAW传感器的原理及其在现场检测中的应用

压电化学传感器是一类重要的质量敏感型检测器,由于具有体积小、灵敏度高、响应时间快等优越性而具有极好的应用前景。本文介绍了体声波化学传感器(QCM) 和表面声波化学传感器(SAW) 的原理,概述了
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技术资料 基于比色测温的温度场测量技术研究

为了解决热电偶、热电阻、红外热辐射等测温方法存在的只能逐点测量，响应时间长，无法得到整个温度场的温度信息等问题。提出利用彩色CCD摄象器件，按比色测温原理建立一套不需参考点的非接触高温物体表面温度场测
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