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行业应用文档 MEMS真空熔焊封装工艺研究
MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法,在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试,结果发现,金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和Au、管帽表面镀Ni可有效的提高真空封装的气密性和可靠性,其气密性优于5×10-9 Pa·m3 ...
源码 51-lcd-mpu6050
利用ST89C52获取MPU6050原始数据并通过LCD1602显示加速度计和陀螺仪的10位原始数据
源码 mpu 6050 51源码
6050,mpu,源码陀螺仪 大小7m 资料 单片机
技术资料 MPU-6500规格书
MPU-6500是全球首例9轴运动处理传感器。它集成了3轴MEMS陀螺仪,3轴MEMS加速度计,
源码 SVM识别车辆行驶状态
通过陀螺仪、加速度计数据提取特征,采用SVM识别车辆行驶状态
习题答案 2021东三省数学建模竞赛省题
2021东三省数学建模竞赛省题B题-背向瑞利散射光纤激光传感器设计