📦 05PV8A内嵌EEPROM的工艺和制程方法 - 免费下载

单片微型机(SingleChipMicrocomputer)，简称单片机，又称微控制器(MCU-MicroControllerUnit)，具有体积小、功能强、性能全面、成本低、使用方便等特点，在家用电器、汽车工业、工业控制、自动化等很多领域得到了广泛的应用。MC68HC(8)05PV8/A单片机属于MOTOROLA单片机中的68HC05家族8bit系列，是专门为汽车电子中的低功耗、单片上系统设计。 由于MC68HC(8)05PV8/A应用于汽车电子领域，其产品要求有很高的可靠性，而对于其内部所包含的EEPROM，由于需要承受多次擦写操作，其隧道氧化层要承受高压和高电压，因此其可靠性的高低就成为影响产品良品率好坏的重要因素。 该课题针对MC68HC(8)05V8/A产品良率不高的问题，从工艺和制程方法等方面分析其对良率的影响，找到问题所在，并提出以下几方面的问题解决方案： 首先，观察产品在后道工艺特别是老化实验和最终测试阶段的工艺制程，找出其中存在的老化实验时间设定不准确的问题，并通过计算、采样、实验和分析结果等步骤，得出准确的产品的偶然失效期时间和老化实验时间。 其次，针对在老化实验中出现的大量由于设备和人为的原因造成的次品，并不属于真正次品的问题，通过对老化实验程序的修改，减少了次品的产生，提高了产品在最终测试的良品率，并减少了生产周期。 第三，从EEPROM的工作机理和工艺角度分析，找到主要影响EEPROM性能的主要原因，发现阈值电压对EEPROM的影响，及其影响其可靠性的相关因素，包括内在可靠性和击穿问题等方面，并通过实例分析提出解决方法，指出EEPROM中浮栅及隧道氧化层的质量好坏，将严重影响器件的可靠性，如何从工艺角度改进，提高器件的可靠性，并提出了几个新的工艺方法。

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