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高g值M EM S加速度传感器敏感元件的结构分析 - 资源详细说明
介绍了几种高g 值M EM S 加速度传感器敏感元件的结构和原理, 并对其结构特性进行了分析, 最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
关键词:M EM S; 加速度传感器,
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