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SFD-28”油扩散泵性能的研究.pdf - 资源详细说明
油扩散泵是一种广泛应用于电子、冶金、化学、原子能等工业部门和空间技术等科学领域的高真空获得设备，其结构简单，没有机械转动，无振动，无噪音，操作方便且能反复循环使用，便于维护，使用寿命长，因此很受用户的青睐。但国内扩散泵产品与国外产品相比较，在抽速、返油率等主要性能指标上还存在较大差距。
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