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高压铂扩散快恢复二极管的研究 - 资源详细说明
本文对高压快恢复二极管的结构设计和制造工艺进行了深入分析，确定了合理的结构参数和先进的工艺流程。选用合适的电阻率和厚度的N 型直拉硅单晶片，采用磷硼纸源扩散，精确控制基区宽度形成P+NN+结构；采用铂
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