离子束溅射镀膜机电源的研制
本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案,并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计。测试结果表明:该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求,现场运行稳定可靠...
本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案,并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计。测试结果表明:该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求,现场运行稳定可靠...
真空镀膜机是一种直流磁控反应溅射镀膜机, 主要应用于太阳能真空管的制造过程。通过改变靶材与工艺参数, 在工件表面上镀制纯金属膜、 合金膜以及多种金属的化合物膜。三靶镀膜机真空室内有 3种靶材 , 通过修改工艺运行程序中相应的参数, 可灵活地选择单靶、 两靶和三靶的工作方式...
透光率传感器,用于镀膜机开发用,效果不错...
·摘要: 为了提高国产镀膜机自动化程度以获得高性能的光学薄膜,需要在镀膜系统中引入微机控制单元,控制部分包含信号调理、数据采集、数据处理和反馈系统,整体监控界面采用VC++6.O编写,收集数据采集卡实时采集到的反映膜厚变化的数据,传递给DSP芯片进行实时数据处理,实现各种需要的算法处理,...