负偏压
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由于金刚石与Si有较大的晶格失配度和表面能差，利用化学气相沉积（CVD）制备金刚石膜时，金刚石在镜面光滑的Si表面上成核率非常低。而负衬底偏压能够提高金刚石在镜面光滑的Si表面上的成核率，表明金
2024-02-01
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负偏压增强金刚石膜与衬底结合强度的理论研究.pdf
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2024-09-23
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