溅射制备

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本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案，并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计。测试结果表明：该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求，现场运行稳定可靠

2023-10-14 2 溅射制备

难得一见的磁控溅射原理论文，系统梳理了其物理机制与工艺基础，适合从事薄膜制备与材料科学的研究者参考。

2026-01-28 3 溅射制备

随着生产生活和科学技术的不断发展，用户对镀膜产品质量的要求越来越高，需求量也越来越大。这就要求镀膜设备具有较高的精度、良好的稳定性，具有较高的镀膜效率和镀膜质量。磁控溅射作为镀膜技术的一个重要分支，也相应的得到了较快的发展，它分为直流磁控溅...

2023-09-11 5 溅射制备

    真空镀膜机是一种直流磁控反应溅射镀膜机， 主要应用于太阳能真空管的制造过程。通过改变靶材与工艺参数， 在工件表面上镀制纯金属膜、 合金膜以及多种金属的化合物膜。三靶镀膜机真空室内有 3种靶材 ， 通过修改工艺运行...

2022-09-17 5 溅射制备