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采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件,研制出高精度绝对压力计,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿。关键词: 绝对压力计; 高精度; 温度补偿Abstract...

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高精度 扩散硅

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