MEMS传感器的优化与动态试验
为了实现液压系统的动态测量,给液压系统的设计以及故障诊断提供理论依据,在已经设计的新型MEMS 流量传感器的基础上,对其结构尺寸进行了进一步的优化,并对MEMS 芯体和优化后的MEMS
2023-10-24
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