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微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

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本文讨论如何根据角速率和角位移测量结果，从一个MEMS陀螺仪快速获取有价值的信息。...

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对于在反馈环路中采用MEMS惯性测量单元(IMU) 的高性能运动控制系统，传感器对准误差常常是其关键考虑之一。对于IMU中的陀螺仪，传感器对准误差描述各陀螺仪的旋转轴与系统定义的"惯性参考系"（也称为...

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MEMS作为21世纪的前沿高科技，在产业化道路上已经发展了20多年，今天，MEMS产品由于其具有大批量生产、低成本和高性能等特点，已经有了很大的市场，早期的封装技术大多数是借用半导体集成IC领域中现成...

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主要介绍了mems的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。关键词：微电子机械系统；微传感器；微执行器...

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基于MEMS 的姿态测量系统A MEMS2Ba sed Attitude Reference System 载体的姿态测量是载体进行预计轨迹运动的基础。姿态测量有多种方式,其中采...

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这份博士论文深入探讨了MEMS晶振的各个方面，从设计原理到实际应用，为工程师和技术人员提供了宝贵的参考。内容涵盖了MEMS晶振的制造工艺、性能优化及测试方法，适合希望深入了解该领域的专业人士。...

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微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

相关技术领域： Integrated Industrial Control MEMS 传感器技术 文档 质量 流量传感器 Microdevices Ceramic Thick Films