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用于MEMS器件芯片级封装的金-硅键合技术研究
用于MEMS芯片封盖保护的金-硅键合新结构，与器件制造工艺兼容!键合温度低!有足够的键合强度，不损坏器件结构，实现了MEMS器件的芯片级封装。...
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微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
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源代码 188
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基于MEMS和数字信号处理器的露点传感器设计
提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计，实现对大气环境的露点温度检测。利用24位Σ-Δ模数转换器对温度进行测量，并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制。经过光学冷镜式露点传感器的对比测试，验证了其露点测...
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基于MEMS传感器微型飞行器航姿仪的硬件实现
· 摘要： 针对微型飞行器(MAV)的特点介绍了一种基于微机电系统(MEMS)传感器的微型航姿仪,它包括三轴陀螺、三轴加速度传感器、三轴磁阻传感器和数字信号处理器(DSP).详细给出了系统整体方案设计和具体的硬件选型和...
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06 calgary PhD Performance Evaluation of Low Cost MEMS-Based IMU Integrated with GPS for Land Vehicl
资料->【E】光盘论文->【E1】斯坦福博士论文->06 calgary PhD Performance Evaluation of Low Cost MEMS-Based IMU Integrated with GPS for Land ...
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小波阈值去噪法在MEMS陀螺仪信号降噪中的应用
· 摘要： 通过分析小波分析法中的阈值去噪算法的原理,根据MEMS陀螺仪信号漂移的数学模型,采用了基于小波阈值去噪法对MEMS陀螺仪的输出进行实时消噪处理.并将该算法应用到基于DSP的某MEMS陀螺捷联惯导系统后对系统...
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基于MEMS与单片机的西瓜成熟度无损检测系统的研究
摘要:通过对西瓜的力学和物理特性的分析,设计一套以凌阳十六位单片机为控制核心,以MEMS(微机电系统)加速度传感器为检测工具,以FFT(快速傅里叶变换)为信号分析和计算方法的西瓜成熟度快速检测装置.检测过程中,利用对西瓜的敲击产生的振动频率...
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ADI ADMP441高性能低功耗数字MEMS麦克风解决方案
ADIADMP441高性能低功耗数字MEMS麦克风解决方案 ...