m-k-c系统全部资料 - 虫虫开发者社区

2023-01-22 10 m-k-c系统

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提出了一种将铁电材料与M EM S 集成的新趋势, 并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器。关键词　M EM S　铁电材料　微传感器　微执行器

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