euv光刻机

极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。

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单片机控制步进电机易出现失步、低频振动及易受外界电磁干扰而影响步进电机的正常工作,从步进电机本身的特性和控制驱动系统等方面分析了问题出现的原因,提出了电流矢量恒幅均匀旋转微步驱动的解决方案,并在舞台灯光控制中实现了步进电机的稳定运行.

2024-09-06 1 euv光刻机

本文提出一种基于亚象素图象处理方法的游标刻度计算机读取算法,该算法使用二次曲线拟合的图像亚像素边缘定位算法,在不影响精度的情况下大大降低了对图象采集装置的要求,可使使游标自动检定设备的成本大幅

2024-02-04 6 euv光刻机