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此书为美国 格雷戈里 T.A. 科瓦奇著，由张文栋教授等人编译，是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。
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