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MEMS
北微传感科技有限公司推出IS3360倾角传感器
微流量传感器 质量流量传感器
主要介绍了mems的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。关键词：微电子机械系统；微传感器；微执行器
本文讨论如何根据角速率和角位移测量结果，从一个MEMS陀螺仪快速获取有价值的信息。
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