RF-MEMS 技术资料

图书简介：本书从低频电路理论到射频、微波电路理论的演化过程出发，讨论以低频电路理论为基础并结合高频电压、电流的波动特征来分析和设计射频、微波系统的方法——微波等效电路法，使不具备电磁场理论和微波技术背景的读者也能了解和掌握射频、微波电路的基本设计原则和方法。

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射频MEMS设计与应用中的复杂问题如何高效解决？本书深入解析核心原理与工程实践，涵盖关键公式推导和实际案例，帮助工程师提升射频器件开发能力。

工具书，软光刻技术，微电子，MEMS工艺相关。

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