RF-MEMS

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系统阐述MEMS惯性感测技术在实际应用中的实现方式，涵盖传感器原理、信号处理与工程实践，适用于嵌入式开发与智能硬件设计。

2026-03-11 3 RF-MEMS

MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法，在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试，结果发现，金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和A...

2016-07-26 2 RF-MEMS