PCVD反应器

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2023-10-12 7 PCVD反应器

· 摘要:  反馈是扫描探针显微镜控制的核心技术,但目前SPM通常使用基于模拟电路的反馈,因而基于数字信号处理器的数字反馈控制器具有较高的实用价值.该文设计了一种基于DSP的SPM数字反馈控制器,并介绍了其软硬件的设计及...

2024-11-27 4 PCVD反应器