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本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案，并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计。测试结果表明：该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求，现场运行稳定可靠
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针对传统电镀电源体积大、实现方式复杂以及输出纹波大的特点，提出了一种新型的DC/DC变换器，采用双闭环PWM实时控制方式，具有恒电流和恒电压两种工作方式。用该方法设计了一组9.6 kW电源模块，实验表明，电源输出纹波系数小于1%，效率达到9...